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我国超净环境集成系统取得首创性突破

来源:暖通空调在线 作者:暖通空调在线 2014-11-21 09:41:35
    11月20日,我国第一个国际最高等级“ISO 1级”的超净环境集成系统在南京天加空调设备有限公司落成,并通过了专家组的评定。来自中国科学院、中国工程院、行业协会、高校、设计院的权威专家,近30名权威专家一致评定该系统为国内首创,达到“国际先进”水平。江苏省科技厅副厅长蒋跃建出席了评定会议,并肯定了科技创新在江苏省经济建设中的重要作用。

评定会现场
评定会现场
 
    中国电子学会洁净技术分会、全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会主任委员王尧表示, 洁净室系统在电子信息产品制造过程中起着举足轻重的作用,尤其是对于超大规模集成电路、高世代平板显示制造而言,洁净室系统设计及建造的水平决定了产品质量和可靠性的高低。

    天加在超净环境集成系统上的技术突破,为我国的电子信息产品的产业升级提供了坚强的堡垒以及必要条件,将进一步提升中国企业在全球超净环境集成市场竞争中的话语权。

    ISO 1级缺失,制约我国电子信息产业发展

    超净环境又称洁净室、无尘室或净化间。是指无论室外空气条件如何变化,仍能使室内空气中微尘粒子,有害气体,细菌等污染物排除,并且室内温度,湿度,洁净度,空气压力,气流分布,气流速度,噪声,震动,照明,静电等特性控制在某一特定需求范围内。
 
    1963年美国制定出国际上第一套洁净室标准,此后不断修改标准,同时世界上几个主要的国家根据自己的需要,分别制定了自己的洁净标准。1999年ISO统一了各国的洁净度标准,并颁发ISO 14644-1标准,是当今国际通用的空气洁净度标准。ISO 1级是该标准的最高要求, 为0.1μm≤10颗/m³,0.2μm≤2颗/ m³,实现难度非常大。

    根据半导体产业的“摩尔定律”,硅晶圆片尺寸已从8吋向18吋迈进以及其产品线宽向18nm发展。平板显示器基板尺寸也做到了2.2×2.5米(8.5代线),生产环境核心部分的洁净度等级需要优于ISO 3级才能满足合格电子产品的生产需求,除此之外对生产环境中的有害气体成分:硫化物、氮化物、氨等提出了新的要求。

    而我国的超净环境核心部分均由国外设计和建造,且国内并无最高洁净度的ISO 1级超净环境,这在一定程度上制约了超大规模集成电路、高世代平板显示制造等电子信息产业的发展。

    勇立潮头,南京天加敢为天下先

    南京天加组建国内一流的优秀技术团队,投入一千多万元,经过近两年时间的技术攻关,取得重大技术突破,建立了天加“超净环境集成系统”。经权威检测,该集成系统核心区空气洁净度管控达到国际最高标准ISO 1级,并且空气分子污染控制浓度值为ppb-ppt范围(10-9~10-12)。

天加超净环境集成系统
天加超净环境集成系统
 
    据专家介绍,关于洁净度,如果用 “在太平洋中的一条鱼” 的例子来比作“浮游在空气中的灰尘微粒”,那么,ISO 1级的洁净度,就等同于一个立方米的空间,等比例放大到象太平洋这样巨大的空间,经过超高效过滤器的过滤,大于3.7升体积的鱼(微粒)全部被过滤掉了,没有超过3.7升体积的鱼(微粒)还存在“太平洋”中。

    天加的 ISO 1级超净环境集成系统采用的MAU机组整合了天加成熟的专利技术和国内外同类产品的先进技术成果,采用包括进风、初效过滤、中效过滤、预加热、一级表冷、淋水、二级表冷、加热、送风机、均流、化学过滤、加湿、中效、高效过滤、出风等16个功能段,满足大尺寸芯片生产厂及大型平板显示器等高洁净度环境中新风温湿度处理以及洁净度处理的要求,并可以根据工艺要求进行功能段的灵活组合。

    MAU机组采用天加的发明专利技术——内外框架迷宫式密封结构制作。它将空调箱的框架和保温面板融为一体,通过高压聚氨酯发泡形成整体,箱体面板与面板之间以榫头结构连接,形成迷宫式密封;箱体内部还有暗藏方钢框架,使在组装后的每个拼接处内部都有内外两道加强筋;巧妙的设计还使面板内部与外部金属不能直接接触,从而一举解决了目前市场上空调机组漏风率高、刚度差、冷桥等技术难点。

    天加洁净室技术总监吴小泉表示,天加ISO 1级超净环境集成系统可开展空气分子污染AMC控制技术研究与探索,研究超净环境空调净化系统节能,研究洁净室速度场与温度场,检验空气净化设备在超净环境中运行性能等科研项目,可为芯片、液晶显示器等高科技产业,提供研发以及生产所需的高端洁净环境集成系统。

    技术创新,为提升我国电子信息产业核心竞争力发挥积极作用

    据悉,我国的集成电路对外依存度高,相关产业的大部分利润被外企占据。相关数据显示,2012年,我国原油对外依存度为58%,半导体芯片的进口依存度则接近80%,高端芯片的进口率超过90%。我国信息技术产业规模多年位居世界第一,2013年产业规模达到12.4万亿元,生产了14.6亿部手机、3.4亿台计算机、1.3亿台彩电,但主要以整机制造为主,由于以集成电路和软件为核心的价值链核心环节(高等级光刻设备以及制程工艺)缺失,行业平均利润率仅为4.5%,低于工业平均水平1.6个百分点。业内人士表示,要提高国际话语权,要提高利润率,要从单靠规模效应转向依靠核心价值立足,当务之急是急需加强信息技术产业的研发。

    为此,专家组主任委员王尧表示,天加ISO 1级超净环境集成系统将科研、教学、工程技术验证、环境危害直观评估集成于一个技术平台,实现了中国制造,是国内首创。超净环境核心区洁净度达到国际标准最高级别 ISO 1级,填补国家相关领域技术空白,并达到国际先进水平,对推动中国洁净室技术的科技进步具有重要意义和广泛的应用前景,希望尽快推广使用。

中国电子学会洁净技术分会、全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会主任委员王尧
中国电子学会洁净技术分会、全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会主任委员王尧
 
    厚积薄发,天加专业空气洁净技术向家用市场延伸

    作为集研发、制造、销售、服务于一体的中央空调及冷冻设备的国家高新技术企业,天加在南京总部基地一期投资4.5亿建成国内等级最高的中央空调制造研发基地。测试验证中心近20座国家级实验室,已获得国家认可委CNAS认证,其中有多座实验室处于行业内领先水平,是国家级研发公共服务平台。2008年以来,天加公司先后开展了6项重大科技研发活动,累计获得了55项专利。

    天加是中国制冷工业协会洁净技术委员会主任单位,在洁净技术领域硕果累累,其中平板显示器及半导体产业洁净厂房用空气处理机组,就荣获2013年中国机械工业科学技术二等奖。

    但是,天加并不仅仅满足于此,而是将专业空气洁净技术向家用市场延伸应用,让更多的消费者能够获得更好的生活空气品质。记者在天加展厅看到的家用空气净化器就是这样的一款划时代产品。据了解,该款空气净化器最大洁净空气量CADR值达300m³/h,五重净化过滤系统,能有效过滤甲醛、苯以及PM2.5,其中甲醛1小时净化效率达85%、苯1小时净化效率达90%,PM2.5净化效率更是高达99%,能快速营造洁净健康的空气品质环境。

    天加在南京、天津、广州、吉隆坡建有四个生产基地,其生产的中央空调主机和商用机在市场上有强大的市场竞争力,其中组合式空气处理机组更是连续四年全国销量第一,是中央空调行业最有竞争力、运营最健康的企业之一。

专家合影
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